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貝克曼庫爾特便攜式空氣顆粒計數(shù)器MET ONE 3411概述
貝克曼庫爾特MET ONE 3411便攜式空氣顆粒計數(shù)器
MET ONE 3411 便攜式空氣顆粒計數(shù)器適用于半導(dǎo)體潔凈室監(jiān)測、過程標(biāo)記和顆粒故障排除等方面的應(yīng)用。MET ONE 3411 具有業(yè)界領(lǐng)xian的 ISO 21501 數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性和再現(xiàn)性，是業(yè)內(nèi)潔凈的 0.1um 便攜式空氣顆粒計數(shù)器。
應(yīng)用領(lǐng)域：
專應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的空氣顆粒計數(shù)：
– 潔凈室驗證監(jiān)測
– 潔凈室的分級
– ISO14644潔凈室驗證
– 潔凈室顆粒物監(jiān)測
– 生產(chǎn)過程的連續(xù)監(jiān)測
– 顆粒污染源的排除過程
– HEPA過濾器檢漏，粒徑大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um
– 過濾器掃描
– 高壓氣體監(jiān)測可簡單地通過氣體選擇菜單選擇相應(yīng)氣體，流量會自動調(diào)整
貝克曼庫爾特便攜式空氣顆粒計數(shù)器MET ONE 3411特點(diǎn)
★ 可讓您的潔凈室保持潔凈
0.1um級別的顆粒計數(shù)器能讓排氣扇點(diǎn)塵不染
★ 熱插拔電池-百分bai確保儀器長時間連續(xù)運(yùn)行
由于儀器使用的是熱插拔電池，故無論儀器是充電還是斷電、計數(shù)歸零及采用備份電源時都無需停機(jī)
★ 測試向?qū)?Test Wizard)能使您在組織潔凈室時讓合規(guī)性更容易得到保證
可在監(jiān)控您的半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)境時節(jié)省時間并消除錯誤
★ 順序采樣系統(tǒng)
可用 MET ONE 3432 型順序采樣系統(tǒng)部署低成本的現(xiàn)場監(jiān)控解決方案。用單臺 MET ONE 3411 型空氣顆粒計數(shù)器可依次從多達(dá)32個位置進(jìn)行順序采樣。
★ 靈活的通訊方式——設(shè)置簡單，數(shù)據(jù)傳輸方便
供選擇的無線，以太網(wǎng)和串口通訊可以將數(shù)據(jù)傳輸?shù)組ETONE數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)，或者客戶已有監(jiān)控軟件，以便減少文書工作
★ 直觀的用戶界面
簡便的區(qū)域，位置和運(yùn)行參數(shù)的配置和復(fù)制，節(jié)約運(yùn)行時間。只需將完整的配置拷貝到一個 U 盤中，從而消除參數(shù)設(shè)置錯誤，并節(jié)省時間。還可以在整個顆粒計數(shù)組部署采樣計劃!
★ 符合ISO 21501-4 標(biāo)準(zhǔn)的可靠性和準(zhǔn)確性
于滿足特殊顆粒計數(shù)要求，儀器與儀器之間的準(zhǔn)確度和再現(xiàn)性*符合 ISO21501-4標(biāo)準(zhǔn)要求。
